VA−3200ウェハ画像検出システム

【特徴】
•プローブ互換性：VA-3200画像検出システムは、エンジニアとオペレータが熟知した設備環境で使用できるようにプローブ機器に搭載するように設計されている。
•操作プロセスの簡略化：システムと針試験機の統合により、ユーザーは既存の操作インタフェースを使用して画像パラメータを設定でき、新しいシステムの学習曲線を減らすことができる。
•ウェハ破損リスクの回避：ウェハに直接接触してピックアップや配置を行う必要がないため、ウェハ破損のリスクを効果的に防止することができる。
•操作の利便性の向上：針試験機に詳しいエンジニアとオペレータは、検査プロセスの効率と安全性を維持するために、より容易に開始することができます。

【製品の優位性】
1.高品質な画像キャプチャ
◦ワイヤスキャンカメラ：ワイヤスキャンカメラを使用して、大視野（FOV）と高速スキャン能力を提供し、短時間でウェハ全体の画像を完全にキャプチャすることができます。
◦3倍レンズ：高倍率レンズと組み合わせて使用すると、高品質の画像を生成でき、欠陥特徴の認識率を著しく向上させることができる。
2.高精度欠陥検出
◦検出精度が5μmに達した：高い精度の検出能力を持ち、異物（粒子）、スクラッチ（スクラッチ）、パッド異常、バンプ異常を含むウエハ表面の微小欠陥を正確に識別することができる。