タングステンスパッタリングターゲット

製品の詳細

材質:W 1

タイプ:平面ターゲット、回転ターゲット

形状:チューブ、正方形、円形、長尺

純度:99.95%、99.97%

通常密度:19.0 g/cm 3~19.2 g/cm 3

高密度:> ;19.2g/cm3

寸法:図面による加工、精度要求を満たす

製品特徴:密度が高く、純度が高く、粒子が細く、密度が良い

タングステンターゲットの主な用途は、

1.電子デバイスの製造:タングステンターゲットは集積回路(IC)、フラットパネルディスプレイ(FPD)、太陽電池などの電子デバイスの製造に広く応用されている。製造中、タングステンターゲットを真空チャンバ内のターゲットガンに配置し、イオン衝撃または電子ビームによりタングステン原子またはイオンを放出し、基板表面に堆積して所望のタングステン膜を形成する。

2.導電材料:タングステンターゲットはその良好な導電性と高融点のため、導電材料の製造によく用いられる。これらは高温抵抗器、電極材料、高出力電子デバイスなどの製造に使用することができる。


3.金属蒸発源:タングステンターゲットは金属蒸発源として使用でき、真空中で金属蒸発過程を行う。蒸発中、タングステンターゲットは高温に加熱されて金属蒸気に蒸発し、その後基板上に堆積して金属膜を形成する。
タングステンターゲットのユーザーには、半導体メーカー、ディスプレイメーカー、光起電力業界、電子機器メーカー、科学研究機関などが含まれる。これらの業界や単位は、薄膜製造、材料研究、電子デバイス生産などの分野でタングステンターゲットを広く使用している。

プロセスフロー:

平面目標:タングステン粉末プレス焼結圧延深加工表面処理完成品検査包装

小回転ターゲット:タングステン粉末プレス焼結鍛造深加工表面処理完成品検査包装

大回転ターゲット:タングステン粉末プレス焼結深加工表面処理完成品検査包装

サプライヤー連絡先

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